(sensory konfokalne)

 

Przyrząd umożliwia jednoczesny , automatyczny pomiar:

  • płaskości obu powierzchni,
  • profilu grubości,
  • kształtu powierzchni.

Technika pomiarowa:

  • dwa współosiowe sensory konfokalne,
  • skanowanie powierzchni w płaszczyźnie XY: 100 x 100 mm,
  • zakres pomiarowy w osi Z: 700 µm,
  • dokładność pomiaru grubości: 150 nm.

Urządzenie wraz z oprogramowaniem wykonano w ramach projektu UE: "Obrazowanie z wykorzystaniem neutralnych atomów helu" (IMAGING WITH NEUTRAL ATOMS - INA).

We use cookies to improve our website and your experience when using it. Cookies used for the essential operation of the site have already been set. To find out more about the cookies we use and how to delete them, see our privacy policy.

I accept cookies from this site.

EU Cookie Directive Module Information